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专利3. 长程微通道内壁TiO2涂层化学气相沉积装置及涂覆方法

2016-11-04 17:48 浏览:
        本发明公开了长程微通道内壁TiO2涂层化学气相沉积涂覆方法及设备,首先对单管涂覆工件即样件的预处理净化,采用化学气相沉积方法和卧式炉装置,在微小管道空间内部,实现长程(长度为0.6-1 m),微通道(1-4 mm)不锈钢管内壁,在800-850oC温度条件下TiO2涂层的致密沉积,能够使样件表面达到良好的抑制表面结焦积碳的目的。
 
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